Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 23 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/3459
Постоянная гиперссылка

621.5
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса ионной обработки материалов = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТАСУР, 1994. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 17. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52(076)
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- ионное распыление -- газоразрядные приборы -- ионная обработка -- лабораторные работы
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

621.38
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов = Ионно-плазменная техника : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1991. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.18(076)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- лабораторные работы -- ионное распыление -- плазменное распыление -- ионно-плазменная обработка -- технология производства
Доп.точки доступа:
Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

621.384
С302

    Семенов, Александр Петрович.
    Пучки распыляющих ионов: получение и применение : монография / Александр Петрович Семенов ; Российская академия наук. Сибирское отделение, Бурятский научный центр. Отдел физических проблем. - Улан-Удэ : БНЦ СО РАН, 1999. - 208 с. : ил. - Библиогр.: с. 186-206. - ISBN 5-7925-0049-5 (в пер.) : 62.10 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.384.032.266
~РУБ 621.384

Кл.слова (ненормированные):
ИОНЫ -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ТЕХНИКА
Доп.точки доступа:
Месяц, Г. А. \ред.\
Российская академия наук. Сибирское отделение
Бурятский научный центр. Отдел физических проблем

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (3), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.7
Б 912

    Бурдовицын, Виктор Алексеевич.
    Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / В. А. Бурдовицын ; науч. рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1981. - 150 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.7(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ДИССЕРТАЦИИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИНИТРИД КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч. рук.\
Бурдовицин, Виктор Алексеевич
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	180258
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)