Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК<.>)

Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра электронных приборов. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2012. - on-line, 23 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.64(076)
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- лабораторные работы -- нанесение тонких пленок -- магнетронные распылительные системы -- вакуумная техника -- магнетроны

Доп.точки доступа:
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра электронных приборов

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1340
Постоянная гиперссылка

539.2
В 148


    Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте [Текст] : научное издание / Ю. З. Бубнов [и др.]. - М. : Советское радио, 1975. - 160 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
МОЛЕКУЛЯРНЫЕ СИСТЕМЫ -- НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Доп.точки доступа:
Бубнов, Ю. З.
Лурье, М. С.
Старос, Ф. Г.
Филаретов, Г. А.

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

533
Д 182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 328 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
533.915:621.793
621.793:533.915
~РУБ 533

Кл.слова (ненормированные):
плазма -- низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- нанесение тонких пленок -- интегральные схемы

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1993. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.64(076)
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- лабораторные работы -- нанесение тонких пленок -- магнетронные распылительные системы -- вакуумная техника -- магнетроны
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

621.5
В 148


    Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок : справочное издание / И. Г. Блинов [и др.] ; Министерство электронной промышленности СССР (М.). - М. : Электроника, 1969. - 108 с. : ил. - (Справочные материалы по электронной технике ; вып. 1(7)). - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52:539.216.2
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПРАВОЧНИКИ
Доп.точки доступа:
Блинов, Иван Григорьевич
Ельчанинов, Евгений Иванович
Мелехин, Юрий Яковлевич
Панкратов, Лев Михайлович
Министерство электронной промышленности СССР (М.)

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

621.7
К 642

    Кондратов, Альберт Владимирович.
    Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники : производственно-практическое издание / А. В. Кондратов, А. А. Потапенко. - М. : Радио и связь, 1986. - 77[3] с. : ил. - (Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр.: с. 77-78. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793:621.3
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
термическое испарение -- вакуум -- радиоэлектроника -- нанесение покрытий -- нанесение тонких пленок
Доп.точки доступа:
Потапенко, Александр Алексеевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 794

    Степаненко, Игорь Павлович.
    Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с. : ил. - (Технический университет). - Библиогр.: с. 419. -Предм. указ.: с. 488. - ISBN 5-93208-045-0 : 150.00 р., 102.85 р., 155.90 р., 144.16 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЕ ПЕРЕХОДЫ -- ТРАНЗИСТОРЫ -- ТИРИСТОРЫ -- ЭПИТАКСИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ЦИФРОВАЯ СХЕМОТЕХНИКА -- АНАЛОГОВАЯ СХЕМОТЕХНИКА -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (218 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (217), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	120336
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)