Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК<.>)

Общее количество найденных документов : 12
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-12

1.

621.38
Б 662

    Битнер, Лилия Райнгольдовна.
    Вакуумная и плазменная электроника [Электронный ресурс] : учебное пособие / Л. Р. Битнер ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2007. - on-line, 151 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38:533.9(075.4)
621.385(075.4)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ЗАРЯЖЕННЫЕ ЧАСТИЦЫ -- ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ -- ГАЗОВЫЕ РАЗРЯДЫ -- ПЛАЗМА -- ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра физической электроники

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/545
Постоянная гиперссылка

2.

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2006. - on-line, 209 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1130
Постоянная гиперссылка

3.

621.38
Б 662

    Битнер, Лилия Райнгольдовна.
    Вакуумная и плазменная электроника [Электронный ресурс] : учебное пособие / Л. Р. Битнер ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2007. - on-line, 150 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38:533.9(075.4)
621.385(075.4)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- вакуумная электроника -- плазменная электроника -- заряженные частицы -- движение заряженных частиц -- электронная эмиссия -- газовые разряды -- плазма -- газоразрядная электроника -- осаждение пленок -- электронные пучки -- электронные пушки -- ионные пучки

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра физической электроники

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/humans/703
Постоянная гиперссылка

4.

А
С 166

    Салтымаков, Максим Сергеевич.
    Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Томский политехнический университет. - Томск, 2010. - 18 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 17-18

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:533.9:621.384.6.032.266(043.3)
621.793.184(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- тонкие пленки -- полупроводниковые пленки -- GaAs -- InP -- плазма -- абляционная плазма -- импульсные ионные ускорители -- частотно-импульсное воздействие -- ускорители заряженных частиц -- ионные пучки -- пучки частиц -- осаждение пленок
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \науч. рук.\
Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

5.

621.38
Б 662

    Битнер, Л. Р.
    Вакуумная и плазменная электроника : учебное пособие / Л. Р. Битнер ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 150 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 149-150. - 65.02 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38:533.9(075.4)
621.385(075.4)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- вакуумная электроника -- плазменная электроника -- заряженные частицы -- движение заряженных частиц -- электронная эмиссия -- газовые разряды -- плазма -- газоразрядная электроника -- осаждение пленок -- электронные пучки -- электронные пушки -- ионные пучки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (43 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

6.

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-209. - 62.70 р., 104.50 р., 143.00 р., 120.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (61 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (61)
Постоянная гиперссылка

7.

621.382
П 845


    Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5 : 300.00 р., 250.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ДИФФУЗИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЗАЦИИ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Илюшин, Владимир Александрович
Величко, Александр Андреевич
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (99 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (74), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

8.

678
Ш 430

    Шалкаускас, Мудис Ионо.
    Химическая металлизация пластмасс : научное издание / М. О. Шалкаускас, П.-А. Ю. Вашкялис. - Л. : Химия, 1972. - 167[1] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
678.5:669
~РУБ 678

Кл.слова (ненормированные):
пластмассы -- металлизация -- химическая металлизация -- осаждение пленок -- металлические покрытия
Доп.точки доступа:
Вашкялис, Повилас-Альгирдас Юозап

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

9.

621.373
А 588

    Альтудов, Юрий Камбулатович.
    Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание / Ю. К. Альтудов, А. Г. Гарицын ; вступ. ст. К. А. Валиев. - М. : Радио и связь, 2001. - 632 с. : ил, табл. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3 (в пер.) : 323.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.373.826-181.4
~РУБ 621.373

Кл.слова (ненормированные):
ЛАЗЕРЫ -- лазерные микротехнологии -- ЭЛЕКТРОНИКА -- микролитография -- осаждение пленок -- травление -- микроэлектроника -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Гарицын, Александр Георгиевич
Валиев, Камиль Ахметович \вступ. ст.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

10.

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77:533.915
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- низкотемпературная плазма -- травление -- осаждение пленок -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- БиКМОП-структура -- СВЧ-плазма -- диэлектрические пленки -- ЭЦР-разряд -- ЭЦР-плазма -- плазмохимическое травление -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

1-10 11-12

Стандартный

Расширенный

По словарю

Статистика за 18.06.2024
Число запросов	33270
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)