Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с. : граф., ил., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 334-337. - ISBN 978-5-86889-903-4 : 135.04 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382-022.532(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МОП-ТРАНЗИСТОРЫ -- МАСШТАБИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- МЕТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- КРЕМНИЙ -- МЕЖУРОВНЕВАЯ РАЗВОДКА -- СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ
Доп.точки доступа:
Чистоедова, Инна Анатольевна
Кривобоков, В. П. \рец.\
Шестериков, Е. В. \рец.\
Минобрнауки России (М.)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (46 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка

621.38
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9 : 190.00 р., 200.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38-022.532:620.3(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МУРА ЗАКОН -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (29 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (21)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологии кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки РФ, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2011. - 262 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 260-261. - ISBN 978-5-91191-203-1 : 300.00 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- ПАССИВАЦИЯ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- FEOL -- BEOL
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки РФ
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
В 155

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике : научное издание / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 349, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347. - 02.80 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002:776
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физические основы -- фотолитография -- субмикронная литография -- микроэлектронные схемы -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка

621.382
В-155

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физика субмикронной литографии : научное издание / Камиль Ахметович Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.383:776
621.382.049.77.002:776
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- литография -- физические основы -- субмикронная литография

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 15.06.2024
Число запросов	4108
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)