Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=эпитаксия кремния<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 245-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 278.30 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

621.315
Ж 681

    Жигальский, Александр Анатольевич.
    Технология материалов электронной техники : Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов / А. А. Жигальский ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2006. - 49 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 39. - 29.48 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.5/61(076)
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- самостоятельные работы -- материалы -- электронная техника -- твердые тела -- тепловые процессы -- диффузия -- газовая динамика -- химическая кинетика -- адсорбция -- жидкостная экстракция -- эпитаксия кремния -- перегонка -- кристаллизация
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 27.06.2024
Число запросов	6715
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)