Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.049.771.14.002(075.8)<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

621.382
Д182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Перспективные технологии производства СБИС (Технология СБИС) : Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения / Тамара Ивановна Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2002. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 30. - 00.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
378.147.85:621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковая техника -- схемотехника -- интегральные схемы -- СБИС -- учебные пособия -- технология производства -- дипломные работы -- методические пособия
Доп.точки доступа:
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (10 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (10), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Перспективные технологии производства СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2000. - 99 с. : ил. - Библиогр.: с. 96. - 29.00 р., 39.60 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковая техника -- схемотехника -- интегральные схемы -- СБИС -- учебные пособия -- технология производства -- травление -- ионная имплантация
Доп.точки доступа:
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 137-140. - ISBN 5-86889-054-X : 42.00 р., 28.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
плазменное распыление -- ионно-плазменные технологии -- СБИС -- учебные пособия -- производство -- травление -- тонкие пленки -- ионное осаждение
Доп.точки доступа:
Смирнов, Серафим Всеволодович
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (45), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 15.06.2024
Число запросов	9619
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)