Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2006. - on-line, 209 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1130
Постоянная гиперссылка

539.2
Р 243


    Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел : Пер. с англ. / ред. : Р. Бериш ; ред. пер. : В. А. Молчанов. - М. : Мир, 1984. - 335[1] с. : ил. - (Проблемы прикладной физики). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 332-335. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.2:539.1.04
533.9.01
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
твердые тела -- ионная бомбардировка -- ионизирующие излучения -- распыление материалов
Доп.точки доступа:
Бериш, Райнер \ред.\
Молчанов, В. А. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-209. - 62.70 р., 104.50 р., 143.00 р., 120.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (61 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (61)
Постоянная гиперссылка

539.2
Т 384

    Технология тонких пленок : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - .
   Т. 1. - 664 с. : ил. - пер. с англ. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 653-662. - 60.50 р., 50.00 р., 04.02 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2.(035)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ВАКУУМНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ПОДЛОЖКИ -- КОНДЕНСАЦИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ФЕРРОМАГНИТЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Майссел, Леон \ред.\
Глэнг, Р. \ред.\
Елинсон, М. И. \пер. под ред.\
Смолко, Г. Г. \пер. под ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (10 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (10), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

539.2
Т 384

    Технология тонких пленок : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - .
   Т. 2. - 768 с. : ил., граф., рис., табл. - Пер. с англ. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 754-764. - (в пер.) : 250.00 р., 04.45 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2(035)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ВАКУУМНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ПОДЛОЖКИ -- КОНДЕНСАЦИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ФЕРРОМАГНИТЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Майссел, Л. \ред.\
Глэнг, Р. \ред.\
Елинсон, М. И. \пер. под ред.\
Смолко, Г. Г. \пер. под ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (12 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (12)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	116093
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)