Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

621.382
С 506

    Смирнов, Серафим Всеволодович.
    Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Электронный ресурс] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2010. - on-line, 115 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.001.893(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ -- ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ -- МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ -- ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ -- ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/535
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнов, Серафим Всеволодович.
    Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Текст] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий", Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2010. - 115 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 113. - 220.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.001.893(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ -- ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ -- МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ -- ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ -- ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Министерство образования и науки Российской Федерации
Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (2), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 06.07.2024
Число запросов	58159
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)