Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ионная имплантация<.>)

Общее количество найденных документов : 19
Показаны документы с 1 по 19

535
Ф 912

    Фролова, Марина Николаевна.
    Оптические устройства, использующие распространение световых пучков в фоторефрактивных кристаллах и в планарных волноводах на их основе [Текст] : диссертация ... доктора технических наук: 01.04.05 / М. Н. Фролова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск, 2005. - 283 с. : рис.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
535.3
621.391.63
~РУБ 535

Кл.слова (ненормированные):
ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ -- КАНАЛЬНЫЕ ВОЛНОВОДЫ -- ВЕКТОР ПОЛЯРИЗАЦИИ -- СВЕТОВЫЕ ПУЧКИ -- ПРОТОННЫЙ ОБМЕН -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ
Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

А
Ф 912

    Фролова, Марина Николаевна.
    Оптические устройства, использующие распространение световых пучков в фоторефрактивных кристаллах и в планарных волноводах на их основе [Текст] : автореферат диссертации ... доктора технических наук: 01.04.05 / М. Н. Фролова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск, 2005. - 36 с. : рис.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
535.3
621.391.63
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ -- КАНАЛЬНЫЕ ВОЛНОВОДЫ -- ВЕКТОР ПОЛЯРИЗАЦИИ -- СВЕТОВЫЕ ПУЧКИ -- ПРОТОННЫЙ ОБМЕН -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ
Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: сбо (1), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Ч-683

    Чистоедова, Инна Анатольевна.
    Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 50-51. - ISBN 978-5-86889-976-8 : 788.21 р., 788.27 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382-022.532(075.4)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ -- САМОСТОЯТЕЛЬНЫЕ РАБОТЫ -- СУБМИКРОНЫ -- ПРОЕКЦИОННАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Доп.точки доступа:
Мостовщиков, А. В. \рец.\
Коханенко, А. П. \рец.\
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (24 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка

65
З-966

    Зыков, Дмитрий Дмитриевич.
    Системы автоматизированного моделирования и проектирования технологических процессов и технологических маршрутов производства СВЧ МИС, оптимизация производства (основы САПР Synopsys Tcad) [Текст] : учебное пособие / Д. Д. Зыков, К. Ю. Осипов ; рец.: П. Е. Троян, В. А. Бейнарович ; Минобрнауки России (М.), Российская корпорация нанотехнологий, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2010. - 76 с. : цв. ил., рис. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 74. - 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
65.015.13:004.896(075.8)
~РУБ 65

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- КВАНТОВЫЕ ЯМЫ -- ШРЕДИНГЕРА УРАВНЕНИЕ -- ДВУХМЕРНЫЕ СЕТКИ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПОЛИКРЕМНИЙ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ШОТТКИ ДИОДЫ -- ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ -- ОПТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
Доп.точки доступа:
Осипов, Константин Юрьевич
Троян, П. Е. \рец.\
Бейнарович, В. А. \рец.\
Минобрнауки России (М.)
Российская корпорация нанотехнологий
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

А
Д 754

    Дроздов, Дмитрий Геннадьевич.
    СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов [Текст] : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Д. Г. Дроздов ; АО "Научно-производственное предприятие "Пульсар". - Москва, 2017. - 27 с. : фот. цв., рис.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.3.049.77:621.382.2/3
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
ДИНАМИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЕ ДИОДЫ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ
Доп.точки доступа:
АО "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (Москва)
Научно-исследовательский институт системных исследований Российской академии наук (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

Шифр: И517352/2014/4
Журнал

Материалы электронной техники : научно-технический журнал. Известия ВУЗов/ Министерство образования Российской Федерации (М.). - М. : МИСиС, 1998 - . - ISSN 1609-3577. - Выходит ежеквартально
2014г. N 4 . - 2209.26, р.

Содержание:
Некрасов, Анатолий Валентинович. Перспективы рынка поликристаллического кремния / А. В. Некрасов, А. В. Наумов. - С.233-239
Кл.слова: солнечная энергетика, Сименс-метод, поликремний
Гавва, Владимир Александрович. Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния / В. А. Гавва, А. В. Гусев, Т. В. Котерева. - С.240-245
Кл.слова: ИК-спектроскопия, монокристаллы, моносилан
Гоник, Михаил Александрович. Распределение Ge в слитке сплава Si_0,9Ge_0,1 / М. А. Гоник, A. Cröll, A. Wagner. - С.246-251
Кл.слова: сплав с германием, рентгеновский микроанализ, однородность кристалла
Нагорных, Сергей Николаевич. Распределение центров дислокационной люминисценции D1 в кремнии, подвергнутом имплантации ионов Si⁺, и модель фотолюминесценции / С. Н. Нагорных, В. И. Павленков, Д. И. Тетельбаум. - С.252-256
Кл.слова: ионная имплантация, дислокационная люминесценция, модель фотолюминесценции
Верезуб, Наталия Анатольевна. Расчетно-экспериментальное исследование влияния тепловых процессов на форму фронта кристаллизации гептадекана и галлия в модели метода Чохральского / Н. А. Верезуб, А. И. Простомолотов, В. С. Бердников. - С.257-267
Кл.слова: теплоперенос, моделирование, кристаллизация
Тыныштыкбаев, Курбангали Байназарович. Высокоэффективные фотоэлектроды на основе пористого кремния / К. Б. Тыныштыкбаев, В. Б. Глазман, Д. А. Муратов. - С.268-277
Кл.слова: гетероструктура, электролиз воды, водород
Баталов, Рафаэль Ильясович. Синтез пористого кремния с наночастицами серебра методом низкоэнергетической ионной имплантации / Р. И. Баталов, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин. - С.278-283
Кл.слова: аморфизация, распыление поверхности, ионная имплантация
Латухина, Наталья Виленовна. Фоточувствительные гетероструктуры на основе пористого нанокристаллического кремния / Н. В. Латухина, А. С. Рогожин, А. С. Сайед. - С.284-289
Кл.слова: нанокристалл, вольт-амперные характеристики, фотоэлектрические свойства
Паньков, Андрей Анатольевич. Пироэлектромагнитные эффекты композита феррит/титанат бария / А. А. Паньков. - С.290-296
Кл.слова: пироэлектрические свойства, пьезокомпозит, электромагнитоупругость
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

Шифр: И038466/2014/3
Журнал

Физика : научный журнал. Известия ВУЗов/ Министерство образования Российской Федерации (Томск), Томский государственный университет. - Томск : СФТИ, 1958 - . - ISSN 0021-3411. - Выходит ежемесячно
2014г. N 3 . - 4312.56, р.

Содержание:
Винокуров, А. А. Лигандная сверхтонкая структура спектров ЭПР ионов Eu²⁺ в суперионных кристаллах СaF₂ / А. А. Винокуров. - С.3 - 8
Кл.слова: флюорит, европий, электролита
Больбасов, Е. Н. Аэродинамическое формирование биосовместимых матриксов и их функционализация наночастицами, полученными методом лазерной абляции / Е. Н. Больбасов, И. Н. Лапин, С. И. Твердохлебов. - С.9 - 15
Кл.слова: матрикс, наноцастица, абляция
Ермолаев, Ю. С. О влиянии конфигурации магнитного поля на левитационные характеристики системы свехпроводник - массив магнитов / Ю. С. Ермолаев, И. А. Руднев. - С.16 - 19
Кл.слова: левитация, конфигурация МС, сверхпроводник
Дебелова, Н. Н. Электрофизические свойства композиций на основе атактического полипропилена / Н. Н. Дебелова, В. И. Сусляев, Н. П. Горленко. - С.20 - 25
Кл.слова: СВЧ-резонатор, полипропилен, адгезия
Магазев, А. А. Магнитные геодезические потоки на однородных многообразиях / А. А. Магазев. - С.26 - 32
Кл.слова: алгебра Ли, интегрируемость, поток
Орехов, К. А. Спиноры Киллинга и суперчастица в пространстве анти-де Ситтера / К. А. Орехов. - С.33 - 38
Кл.слова: суперсимметрия, вектор, структура спиноров
Закиров, У. Н. Космологические уравнения Робертсона - Уокера в рамках теории Калуцы - Клейна при отсутствии условия цилиндричности. Модель темной энергии / У. Н. Закиров. - С.39 - 43
Кл.слова: гравитация, флюктуация, закон Хоббла
Гаман, В. И. Характеристики полупроводниковых резистивных сенсоров монооксида углерода при работе в режиме термоциклирования / В. И. Гаман, Е. Ю. Севастьянов, Н. К. Максимова. - С.44 - 49
Кл.слова: диоксид олова, монооксид углерода, термоциклирование
Брудный, В. Н. Ростовые дефекты в светодиодных структурах InGaN/GaN / В. Н. Брудный. - С.50 - 53
Кл.слова: сапфир, эпитаксия, нитрат галлия
Талипов, Н. Х. Влияние состава варизонногослоя на формирование n⁺-n^- -p-структур в имплантированных бором гетероэпитаксиальных слоях Cd_xHg_1-xTe¹ / Н. Х. Талипов, А. В. Войцеховский, Д. В. Григорьев. - С.54 - 67
Кл.слова: фотодиод, радиация, ионная имплантация
Емельянов, Е. А. Квантовые ямы InGa As/GaAs, выращенные методом МЛЭ на искусственных подложках GaAs/Si(001) / Е. А. Емельянов, А. П. Коханенко, Д. С. Абрамкин. - С.68 - 72
Кл.слова: морфология, квантовая яма, буферный слой
Конобеева, Н. Н. Распространение предельно короткого оптического импульса в графене на подложке из тонкой пленки топологического изолятора / Н. Н. Конобеева, М. Б. Белоненко. - С.73 - 77
Кл.слова: графен, импульс, ТЛ изолятор
Цыдыпов, Б. Д. Параметры высокотемпературной диффузии и испарения легирующих элементов термоэмиссионных катодов / Б. Д. Цыдыпов. - С.78 - 82
Кл.слова: термокатод, диффузия, активатор
Матвеев, А. И. Солитоны в плазменной волне с пучком захваченных электронов конечной плотности / А. И. Матвеев. - С.83 - 91
Кл.слова: солитоны, ленгмюровская волна, электрон
Медведев, Н. Н. _...Локализация энергии в упорядоченных конденсированных системах: сплавы состава A₃B со сверхструктурой L1₂ / Н. Н. Медведев, М. Д. Старостенков, А. И. Потекаев. - С.92 - 100
Кл.слова: ангармонизм, моделирование, локализация энергии
Баранникова, С. А. Закономерности макроскопической локализации пластической деформации при растяжении низкоуглеродистой стали / С. А. Баранникова, Д. А. Косинов, М. В. Надежкина. - С.101 - 107
Кл.слова: сплав, поликристалл, спекл - фотография
Мейснер, С. Н. Фрагментация структуры приповерхностного слоя никелида титана, вызванная импульсным воздействием на его поверхность пучками ионов кремния / С. Н. Мейснер. - С.108 - 115
Кл.слова: никелид титана, кремний, ионная имплантация
Суржиков, А. П. Исследование методом дилатометрии процессов спекания композиционной керамики из ультрадисперсных порошков системы ZrO₂(Y)-AI₂O₃при различных температурно - временных режимах обжига / А. П. Суржиков, Т. С. Франгульян, С. А. Гынгазов. - С.116 - 120
Кл.слова: метод дилатометрии, керамика, цирконий
Хуанбай, Е. К. Влияние времени экспозии в азоте на сверхпроводящие свойства YBCO - керамик / Е. К. Хуанбай, Н. Х. Ибраев. - С.121 - 124
Кл.слова: сверхпроводимость, керамика, плотность тока
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

621.382
Т 384

    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 242.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИФФУЗИЯ -- ЭПИТАКСИЯ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Королев, Михаил Александрович
Крупкина, Татьяна Юрьевна
Ревелева, Марина Александровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (6)
Постоянная гиперссылка

А
У 324

    Уемура, Кензуке.
    Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07 / К. Уемура ; конс. Г. Е. Ремнев ; NanoCarbon Research Institute Limited, Национальный исследовательский Томский политехнический университет. - Томск : Издательство Томского политехнического университета, 2011. - 26 с. - Библиогр.: с. 24-26

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
669.018(043.3)
533.9(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПЛЕНКИ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- АВТОРЕФЕРАТЫ
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \конс.\
NanoCarbon Research Institute Limited
Национальный исследовательский Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

10.

539.2
Д 390


    Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров [и др.]. - Минск : Университетское, 1990. - 318[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 293-318. - ISBN 5-7855-0192-9 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
дефекты -- ионно-имплантированный кремний -- ионная имплантация -- полупроводниковые материалы
Доп.точки доступа:
Комаров, Фадей Фадеевич
Новиков, Александр Петрович
Соловьев, Валерий Сергеевич
Ширяев, Сергей Юрьевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

11.

621.7
О-224


    Оборудование ионной имплантации : производственно-практическое издание / В. В. Симонов [и др.]. - М. : Радио и связь, 1988. - 182[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 179-181. - ISBN 5-256-00007-1 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184.06
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- имплантация -- обоснование
Доп.точки доступа:
Симонов, Владимир Валентинович
Корнилов, Лев Александрович
Шешелев, Алексей Васильевич
Шокин, Евгений Викторович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

12.

621.7
Б 953

    Быковский, Юрий Алексеевич.
    Ионная и лазерная имплантация металлических материалов : научное издание / Ю. А. Быковский, В. Н. Неволин, В. Ю. Фоминский. - М. : Энергоатомиздат, 1991. - 235[5] с. : ил. - Загл. на корешке : Ионная и лазерная имплантация. - Библиогр.: с. 232-236. - ISBN 5-283-03921-8 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.1
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- металлы -- ионная имплантация -- лазерная имплантация
Доп.точки доступа:
Неволин, Владимир Николаевич
Фоминский, Вячеслав Юрьевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

13.

621.382
П491


    Полевые транзисторы на арсениде галлия: Принципы работы и технология изготовления : Пер. с англ. / П. Ф. Линдквист, У. М. Форд, Л. Холлан и др.; Ред. Д. В. Ди Лоренцо, Ред. Д. Д. Канделуола, Ред. пер. Г. В. Петров. - М. : Радио и связь, 1988. - 494[2] с. : ил. - ISBN 5-256-00136-1 (в пер.) : 02.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.323:546.681
621.382
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОДЛОЖКИ -- ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- ЭПИТАКСИЯ -- НОСИТЕЛИ ЗАРЯДА -- ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ -- ЗАЩИТА -- ОТЖИГ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПОСТОЯННЫЙ ТОК -- ТОПОЛОГИЯ КРИСТАЛЛА -- ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ТЕПЛОВОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ -- СХЕМОТЕХНИКА
Доп.точки доступа:
Вуд, К. Е. К.
Линдквист, П. Ф.
Форд, У. М.
Холлан, Л.
Халлайс, Д.
Ди Лоренцо, Д. В. \ред.\
Канделуола, Д. Д. \ред.\
Петров, Г. В. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

14.

621.382
Д182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Перспективные технологии производства СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2000. - 99 с. : ил. - Библиогр.: с. 96. - 29.00 р., 39.60 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковая техника -- схемотехника -- интегральные схемы -- СБИС -- учебные пособия -- технология производства -- травление -- ионная имплантация
Доп.точки доступа:
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

15.

621.382
С89


    Субмикронные технологии / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; ред. В. Н. Репин. - М. : Наука, 1995. - 79 с. - (Труды ФТИАН / Гл.ред.К.А.Валиев ; т.9). - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77-933
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- плазменные процессы -- КНИ-структуры -- субмикронные технологии -- микротехнологии -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Репин, В. Н. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

16.

621.7
М 690

    Михайлов, Михаил Михайлович.
    Основы электротехнологий : Учебное пособие для вузов / Михаил Михайлович Михайлов ; Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации, Томский политехнический университет им. С. М. Кирова. - Томск : Издательство Томского политехнического университета, 1998. - 239 с. - (в пер.) : 70.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.7/9(075.8)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
обработка материалов -- электроэрозийная обработка -- плазменная обработка -- светолучевая обработка -- электронно-лучевая обработка -- ионная имплантация -- электрохимическая обработка -- ультразвуковая обработка -- электровзрывная обработка -- магнито-импульсная обработка -- электрическая сварка -- электротехника -- учебные пособия
Доп.точки доступа:
Томский политехнический университет им. С. М. Кирова
Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

17.

621.382
Г 740

    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил, табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 04.00 р., 10.83 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(035.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ДИФФУЗИИ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ОБРАБОТКА КРИСТАЛЛОВ -- ЭПИТАКСИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОСВАРКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПОДЛОЖКИ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

18.

621.7
Ч-498

    Черняев, Александр Владимирович.
    Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия : научное издание / А. В. Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 83-86. - ISBN 5-256-00740-8 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184
621.382.049.77.002
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- технология приборов -- интегральные схемы -- схемы -- арсенид галлия

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

19.

Шифр: Н890139/2010/6
Журнал

Нано-и микросистемная техника : междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал/ Российская Академия Наук (М.), Отделение нанотехнологий и информационных технологий. - М. : Новые технологии, 1999 - . - ISSN 1813-8586. - Выходит ежемесячно
2010г. N 6

Содержание:
Куковицкий, Е. Ф. Углеродные нанотрубные автокатоды на никелевых кернах / Е. Ф. Куковицкий, С. Г. ЛЬвов. - С.2-5
Кл.слова: нанотрубки, никелевые керны, гомогенные реакции
Утенкова, С. Б. О механической прочности массивов углеродных нанотрубок / С. Б. Утенкова, П. П. Мальцев. - С.6-10
Кл.слова: нанотрубки, сборка чипов, каркас
Войцеховский, А. В. Радиационные эффекты в кристаллах теллурида кадмия-трути / А. В. Войцеховский, А. П. Коханенко, А. Г. Коротаев. - С.10-17
Кл.слова: дефекты, фотодетекторы, ионная имплантация
Вареник, Ю. А. Формирование тестового воздействия для измерения вольт-фарадных характеристик / Ю. А. Вареник, Р. М. Печерская. - С.17-19
Кл.слова: полупроводники, тест-сигналы, импендас
Тарнавский, Г. А. Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния / Г. А. Тарнавский. - С.20-24
Кл.слова: компьютерное моделирование, имплантация, наноколонны
Клосс, Ю. Ю. Компьютерное моделирование многоступенчатого микронасоса Кнудсена в плоской геометрии / Ю. Ю. Клосс, О. А. Рогозин, Ф. Г. Черемисин. - С.24-31
Кл.слова: Кнудсена насос, моделирование, компьютеры
Тихонов, Р. Д. Латеральные и планарные биполярные магнитотранзисторы / Р. Д. Тихонов. - С.31-36
Кл.слова: магнитотранзисторы, механизмы, поля
Драгунов, В. П. Электростатический микроэлектромеханический преобразователь с последовательной схемой включения компонентов / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак. - С.37-43
Кл.слова: конденсаторы, генераторы, преобразователи
Рзянина, А. В. Действие углеродных нанотрубок на клетки млекопитающих при центрифугировании / А. В. Рзянина, А. Д. Усанов, А. В. Скрипаль. - С.43-46
Кл.слова: магнитные поля, нанотрубки, клетки млекопитающих
Анафонов, В. М. Измерительные устройства на основе молекулярно-электронного переноса в микро- и наноструктурах / В. М. Анафонов, В. Г. Криштон, М. В. Сафонов. - С.47-53
Кл.слова: сигналы, наноструктуры, диффузия
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

Статистика за 02.07.2024
Число запросов	5805
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)