УДК	621.382.323(043.3)

~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ -- ДИССЕРТАЦИИ -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Брудный, Валентин Натанович \науч. конс.\
ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет" (Томск)
АО "Научно-производственная фирма "Микран" (Томск)

УДК	621.793.14(076.5)

~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ -- ЭЛЕКТРОДУГОВОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОДУГОВОЕ ИСПАРЕНИЕ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра электронных приборов

УДК

539.216.2

621.523:669.71

~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Нилендер, Р. А. \ред.\