Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 245-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 278.30 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 330.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ГЕТЕРОГЕННОЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ -- РЕАКЦИОННАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ФИЗИЧЕСКАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

621.382
Т384

    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие / Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова. - М. : Высшая школа, 1990. - 126[2] с. : ил. - ISBN 5-06-001080-5 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.359(075.3)
621.382(075.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- полупроводниковые приборы -- микроэлектроника -- технология -- литография -- фотолитография -- рентгенолитография -- электронолитография -- ионолитография
Доп.точки доступа:
Мартынов, Валерий Владимирович
Базарова, Татьяна Евгеньевна

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

77
В 240


    Введение в фотолитографию [Текст] : учебное издание / Ю. С. Боков [и др.] ; ред. В. П. Лаврищев. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с. 379-397. - (в пер.) : 01.47 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
776
~РУБ 77

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ -- ФОТОРЕЗИСТЫ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ГОЛОГРАФИЯ -- АДГЕЗИЯ -- ПОЛИМЕРЫ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТЫ -- ИЗОБРАЖЕНИЯ
Доп.точки доступа:
Боков, Юрий Сергеевич
Корсаков, Владимир Сергеевич
Лаврищев, Вадим Петрович
Лубашевская, Аврора Васильевна
Лаврищев, Вадим Петрович \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (25 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 04.07.2024
Число запросов	256458
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)