Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микроэлектронные технологии<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77:533.915
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- низкотемпературная плазма -- травление -- осаждение пленок -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- БиКМОП-структура -- СВЧ-плазма -- диэлектрические пленки -- ЭЦР-разряд -- ЭЦР-плазма -- плазмохимическое травление -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. Л. В. Великов. - М. : Наука, 1994. - 78 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 7). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007019-Х (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
SIMOX-технология -- галогеносодержащая плазма -- травление кремния -- калориметрия -- ВТСП-структуры -- ВТСП-пленки -- ВТСП-керамика -- полиорганоциклосилоксаны -- микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- КНИ-структуры
Доп.точки доступа:
Великов, Л. В. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 06.07.2024
Число запросов	114107
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)