Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

А
Х 211

    Харламов, Максим Сергеевич.
    Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала [Текст] : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2 / М. С. Харламов ; АО Российские космические системы (Москва). - М., 2022. - 21 с.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
531.768:536
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
АНАЛИЗ ТЕРМОДЕФОРМАЦИИ -- ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОТКЛОНЕНИЯ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- НАУЧНОЕ ИЗДАНИЕ
Доп.точки доступа:
АО Российские космические системы (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

А
В 358

    Вертянов, Денис Васильевич.
    Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок [Текст] : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Д. В. Вертянов ; Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники". - Москва, 2020. - 24 с.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382
661.13
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
КРИСТАЛЛЫ -- ВРЕМЕННОЙ НОСИТЕЛЬ -- ПОЛИАМИДОКИСЛОТЫ -- ПЛАЗМА -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (М., Зеленоград)
Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" им. Шокина" (Фрязино)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Ионное травление микроструктур : научное издание / Борис Степанович Данилин, Валерий Юрьевич Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 101[2] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 21). - Библиогр.: с. 95-102. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- микросхемы -- травление -- ионное травление
Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	109841
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)