УДК

621.382.049.77.002(075.8)

62-181.48(075.8)

~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ДИФФУЗИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЗАЦИИ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Илюшин, Владимир Александрович
Величко, Александр Андреевич
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)