Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ионно-плазменная обработка<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

1.

621.38
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов = Ионно-плазменная техника : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1991. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.18(076)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- лабораторные работы -- ионное распыление -- плазменное распыление -- ионно-плазменная обработка -- технология производства
Доп.точки доступа:
Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

2.

621.382
П 845


    Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5 : 300.00 р., 250.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ДИФФУЗИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЗАЦИИ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Илюшин, Владимир Александрович
Величко, Александр Андреевич
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (99 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (79), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

3.

621.9
И 221

    Ивановский, Геннадий Фомич.
    Ионно-плазменная обработка материалов : производственно-практическое издание / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - М. : Радио и связь, 1986. - 230[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 226-231. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.9.048.7:533.9
~РУБ 621.9

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- обработка материалов -- ионно-плазменные технологии -- ионно-плазменная обработка
Доп.точки доступа:
Петров, Владимир Иванович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Стандартный

Расширенный

По словарю

Статистика за 02.07.2024
Число запросов	10494
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)