Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микролитография<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

621.382
М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 1. - М. : Мир, 1990. - 606[2] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- фоторезисты -- радиационные резисты -- резистные пленки -- фотолитография -- радиационное экспонирование
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.382
М 597


    Микроструктурирование тонких пленок : Сборник / Академия наук СССР, Физико-технологический институт ; ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1991. - 110[2] с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроструктурирование -- тонкие пленки -- микролитография -- интегральные микросхемы -- производство
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Академия наук СССР
Физико-технологический институт

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (4), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.373
А 588

    Альтудов, Юрий Камбулатович.
    Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание / Ю. К. Альтудов, А. Г. Гарицын ; вступ. ст. К. А. Валиев. - М. : Радио и связь, 2001. - 632 с. : ил, табл. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3 (в пер.) : 323.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.373.826-181.4
~РУБ 621.373

Кл.слова (ненормированные):
ЛАЗЕРЫ -- лазерные микротехнологии -- ЭЛЕКТРОНИКА -- микролитография -- осаждение пленок -- травление -- микроэлектроника -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Гарицын, Александр Георгиевич
Валиев, Камиль Ахметович \вступ. ст.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 2. - М. : Мир, 1990. - 609-1240 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. -Предм. указ.: с. 1227-1235. - ISBN 5-03-001717-8 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- резисторные структуры -- экспонированные резисторные структуры -- обработка резистных структур -- проявление -- задубливание -- травление -- безрезистная технология -- контроль
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.382
В-155

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физика субмикронной литографии : научное издание / Камиль Ахметович Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.383:776
621.382.049.77.002:776
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- литография -- физические основы -- субмикронная литография

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	71041
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)