УДК	621.315.5/61(075.8)

~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- материалы электронной техники -- электронная техника -- полупроводниковые материалы -- диэлектрические материалы -- тепломассопередача -- химическая кинетика -- обработка материалов -- монокристаллы -- легирование -- стеклокристаллические материалы -- стекла
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники