Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Поисковый запрос: (<.>K=FEOL<.>)

Общее количество найденных документов : 1

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологии кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки РФ, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2011. - 262 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 260-261. - ISBN 978-5-91191-203-1 : 300.00 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- ПАССИВАЦИЯ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- FEOL -- BEOL
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки РФ
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	57145
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)