УДК	621.52(075.8)

~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ТЕЧЕНИЕ ГАЗА -- ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ -- МАСЛА -- ПРИБОРОСТРОЕНИЕ -- ГИГИЕНА ПОМЕЩЕНИЙ -- ГИГИЕНА ПЕРСОНАЛА -- ОЧИСТКА ВОЗДУХА -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ПЛАВКА МАТЕРИАЛОВ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА -- НАНОПОРОШКИ
Доп.точки доступа:
Гынгазов, С. А. \рец.\
Шандаров, С. М. \рец.\
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники