Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ<.>)

Общее количество найденных документов : 20
Показаны документы с 1 по 20

1-10 11-20

Шифр: И517352/2014/3
Журнал

Материалы электронной техники : научно-технический журнал. Известия ВУЗов/ Министерство образования Российской Федерации (М.). - М. : МИСиС, 1998 - . - ISSN 1609-3577. - Выходит ежеквартально
2014г. N 3 . - 1931.66, р.

Содержание:
Шульга, Юрий Макарович. Углеродные наноструктуры, восстановленные из оксида графита, как материалы для электродов суперконденсаторов / Ю. М. Шульга, Н. Ю. Шульга, Ю. Н. Пархоменко. - С.157-167
Кл.слова: графеновые материалы, суперконденсаторы, оксид графена
Козлова, Нина Семеновна. Исследование монокристаллов CaMoO₄ / Н. С. Козлова, О. А. Бузанов, М. Б. Быкова. - С.168-173
Кл.слова: сцинтилляционные кристаллы, окислительный отжиг, спектрофотометрия
Кугаенко, Ольга Михайловна. Анизотропия микротвердости кристаллов семейства лангасита / О. М. Кугаенко, Е. С. Торшина, В. С. Петраков. - С.174-182
Кл.слова: полярная диаграмма, Кнуппа метод, коэффициент анизотропии
Канева, Ирина Ивановна. Получение гексаферрита бария с повышенными изотропными свойствами / И. И. Канева, В. Г. Костишин, В. Г. Андреев. - С.183-188
Кл.слова: изотропные магнитные свойства, анизотропные магнитные свойства, гексаферрит стронция
Абгарян, Каринэ Карленовна. Объектно-реляционная архитектура информационной поддержки многомасштабной схемы расчета многослойной полупроводниковой наноструктуры / К. К. Абгарян, П. А. Сеченых, И. А. Супрядкина. - С.189-193
Кл.слова: база данных, многомасштабная схема расчета, полупроводниковая наноструктура
Комков, Олег Сергеевич. Определение толщины автоэпитаксиальных слоев арсенида индия методом инфракрасной фурье-спектроскопии / О. С. Комков, Д. Д. Фирсов, Е. А. Ковалишина. - С.194-198
Кл.слова: физика полупроводников, показатель преломления, оптические методы исследования
Ермакова, Евгения Николаевна. Синтез и характеризация триметил(фенил)силана — предшественника для газофазных процессов осаждения пленок SiC_x:H / Е. Н. Ермакова, С. В. Сысоев, Л. Д. Никулина. - С.199-205
Кл.слова: диэлектрические пленки, гидрогенизированный карбонитрид кремния, PECVD
Коваленко, Александр Федорович. Метод определения неразрушающих режимов импульсного лазерного отжига диэлектрических и полупроводниковых пластин / А. Ф. Коваленко, А. А. Воробьев. - С.206-210
Кл.слова: лазерная обработка, квазистатическая задача термоупругости, пластина
Шевченко, Светлана Антоновна. Взаимодействие многозарядных примесей с дислокациями в монокристаллах германия / С. А. Шевченко, А. Н. Терещенко, А. А. Мазилкин. - С.211-216
Кл.слова: метод DLTS, фотолюминесценция, глубокие уровни
Орлова, Марина Николаевна. Изучение деградации фотоэлектрических преобразователей на основе наногетероструктур A^IIIB^V / М. Н. Орлова, С. Ю. Юрчук, С. И. Диденко. - С.217-223
Кл.слова: солнечные элементы, нейтронное излучение, электронное излучение
Бердиев, Асадкул Эгамович. Влияние иттрия на анодное поведение сплава АК1М2 / А. Э. Бердиев, И. Н. Ганиев, Х. Х. Ниезов. - С.224-227
Кл.слова: потенциодинамический метод, анодное поведение, потенциал коррозии
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 245-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 278.30 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

621.382
Т 384

    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 242.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИФФУЗИЯ -- ЭПИТАКСИЯ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Королев, Михаил Александрович
Крупкина, Татьяна Юрьевна
Ревелева, Марина Александровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (6)
Постоянная гиперссылка

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных средств [Текст] : методические указания по выполнению тематических рефератов / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томский межвузовский центр дистанционного образования, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : [б. и.], 2006. - 23 с. - Библиогр.: с. 20. - 36.68 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ -- РЕФЕРАТЫ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Томский межвузовский центр дистанционного образования
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: аунл (7 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (7), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

539.2
К 913

    Кунин, Вадим Яковлевич.
    Электропроводность тонких диэлектрических пленок : Учебное пособие / В. Я. Кунин, Н. А. Штурбина ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина. - Л. : ЛПИ, 1981. - 54[3] с. : ил. - Библиогр.: с. 56. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:537.311.1(075)
621.315.61(075)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- диэлектрические пленки -- электропроводность -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Штурбина, Нина Аркадьевна
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.315
С 221

    Сахаров, Юрий Владимирович.
    Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Ю. В. Сахаров ; науч. рук. : П. Е. Троян ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 2006. - 150[5] с. : ил. - Библиогр.: с. 136-150

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61-034.784(043.3)
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
диссертации -- электроника -- тонкие пленки -- МДМ структуры -- углерод -- формованные МДМ-системы -- электрическая формовка -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

А
С 221

    Сахаров, Юрий Владимирович.
    Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Ю. В. Сахаров ; науч. рук. : П. Е. Троян ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 2006. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61-034.784(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- электроника -- тонкие пленки -- МДМ структуры -- углерод -- формованные МДМ-системы -- электрическая формовка -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: сбо (1), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1 : учебное пособие / Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2005. - 223 с. : ил. - Библиогр.: с. 220. - 66.90 р., 46.80 р., 111.50 р., 180.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- пленочная электроника -- тонкопленочные интегральные микросхемы -- полупроводниковые микросхемы -- легирование полупроводников -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Смирнова, Клара Ивановна
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (7)
Постоянная гиперссылка

539.2
Ч-754

    Чопра, К. Л.
    Электрические явления в тонких пленках (Избранные главы из книги Thin film phenomena) : Монография : Пер. с англ. / К. Л. Чопра ; пер. А. Ф. Волков, Е. И. Гиваргизов, П. И. Перов, В. И. Покалякин, ред. пер. Т. Д. Шермергор. - М. : Мир, 1972. - 434[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 380-410, 421-424. - Предм. указ.: с. 432-434. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- пленки -- электрические свойства -- металлические пленки -- полупроводниковые пленки -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Волков, А. Ф. \пер.\
Гиваргизов, Е. И. \.\
Перов, П. И. \.\
Покалякин, В. И. \.\
Шермергор, Т. Д. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (6 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

10.

621.315
К 666

    Корзо, Виктор Федорович.
    Диэлектрические пленки в микроэлектронике : научное издание / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - М. : Энергия, 1977. - 366[2] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344-365. - (в пер.) : 01.35 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61:621.382-181.48
621.382.049.77
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- диэлектрические пленки -- пленочные диэлектрики -- электронное материаловедение
Доп.точки доступа:
Черняев, Владимир Николаевич

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

11.

621.382
Щ61

    Щерб, С. Ш.
    Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11 / С. Ш. Щерб; Науч. рук.Э. А. Аринштейн, Науч. рук. В. Г. Столярчук ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1973. - 148 с. : ил, фото. - Библиогр.: с. 130-140. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.774.2(043.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
МОП-структуры -- пленки боросиликатного стекла -- примесно-силикатные пленки -- окисные пленки -- диссертации -- диэлектрические пленки -- тонкие пленки -- пленки двуокиси кремния
Доп.точки доступа:
Аринштейн Э. А. \науч. рук.\
Столярчук, Валентина Георгиевна \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

12.

621.382
Ш221

    Шандра, З. А.
    Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / З. А. Шандра; Науч. рук. Г. А. Воробьев, Науч. рук. Р. С. Нахмансон ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1972. - 184 с. : ил, фото. - Библиогр.: с.172- 184. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(043.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
диэлектрические пленки -- МДП-структуры -- МДП-конденсаторы -- микроэлектроника -- металл-диэлектрик-полупроводник -- диссертации
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч. рук.\
Нахмансон, Р. С. \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

13.

621.7
С506

    Смирнова, К. И.
    Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. / К. И. Смирнова; Науч.рук. Г. А. Воробьев ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1971. - 126 с. : ил, фото. - Библиогр.: с. 117-126. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184:546.28(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
нитриды кремния -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИССЕРТАЦИИ -- нанесение покрытий -- ионное осаждение -- кремний -- ПЛЕНКИ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: аунл (1), сбо (1)
Постоянная гиперссылка

14.

621.7
М 855

    Мотошкин, Виктор Владимирович.
    Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / Виктор Владимирович Мотошкин; Науч.рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1979. - 191 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.1(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
электролитическое анодирование -- газовое анодирование -- катодное распыление -- диссертации -- диэлектрические пленки -- вакуумная электроника -- анодирование
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), сбо (1)
Постоянная гиперссылка

15.

621.315
И209

    Иванова, Елена Васильевна.
    Исследование многократного пробоя тонких диэлектрических пленок в МДМ-системе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / Е. В. Иванова ; науч.рук. Г. А. Воробьев ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1976. - 149 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61.015.51:539.216.2(043.3)
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
пробой диэлектриков -- МДМ-катоды -- тонкопленочные конденсаторы -- диссертации -- пробой диэлектрических пленок -- МДМ-системы -- диэлектрические пленки -- тонкопленочные системы
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР

Имеются экземпляры в отделах: сбо (2 экз.)
Свободны: сбо (2)
Постоянная гиперссылка

16.

621.7
Б 912

    Бурдовицын, Виктор Алексеевич.
    Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / В. А. Бурдовицын ; науч. рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1981. - 150 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.7(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ДИССЕРТАЦИИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИНИТРИД КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч. рук.\
Бурдовицин, Виктор Алексеевич
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

17.

621.382
Р86

    Румак, Николай Владимирович.
    Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике : научное издание / Николай Владимирович Румак, Вячеслав Владимирович Хатько; Ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.774
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- твердотельная микроэлектроника -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Хатько, Вячеслав Владимирович
Борисенко, В. Е. \ред.\
Физико-технический институт
Академия наук Белорусской ССР

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (3), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

18.

621.382
В-751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с. - Библиогр.: с. 119-122. - ISBN 5-7511-0191-Х : 00.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- учебные пособия -- металлические пленки -- резистивные пленки -- диэлектрические пленки -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Шандра, З. А. \ред.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (107 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (107), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

19.

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77:533.915
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- низкотемпературная плазма -- травление -- осаждение пленок -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- БиКМОП-структура -- СВЧ-плазма -- диэлектрические пленки -- ЭЦР-разряд -- ЭЦР-плазма -- плазмохимическое травление -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

20.

621.315
В 751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание / Г. А. Воробьев, В. А. Мухачев. - М. : Советское радио, 1977. - 69[4] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; № 13). - Библиогр.: с. 63-69. - (в пер.) : 00.21 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61.015.51
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
диэлектрики -- диэлектрические пленки -- пробой диэлектриков -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Мухачев, Валерий Александрович

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (24 экз.), счз1 (4 экз.)
Свободны: аунл (24), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

1-10 11-20

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	112357
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)