Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Поисковый запрос: (<.>K=ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 330.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ГЕТЕРОГЕННОЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ -- РЕАКЦИОННАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ФИЗИЧЕСКАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	111896
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)