Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2011. - on-line, 98 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
КВАНТОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- НАНОИМПРИНТИНГОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- FIB-ТЕХНОЛОГИИ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ

Доп.точки доступа:
Чистоедова, Инна Анатольевна
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/547
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий", Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2011. - 96 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 94. - ISBN 978-5-91191-202-3 : 210.00 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- КВАНТОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- НАНОИМПРИНТИНГОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- FIB-ТЕХНОЛОГИИ
Доп.точки доступа:
Чистоедова, Инна Анатольевна
Министерство образования и науки Российской Федерации
Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (1 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (1)
Постоянная гиперссылка

621.9
П 580

    Попов, Владимир Федорович.
    Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие для вузов / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - М. : Высшая школа, 1988. - 256 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 250-251. - Предм. указ.: с. 252-253. - ISBN 5-06-001480-0 : 15.83 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.9.048.7(075.8)
621.359(075.8)
~РУБ 621.9

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Доп.точки доступа:
Горин, Юрий Николаевич

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.3
Т 220

    Таруи, Ясуо.
    Основы технологии сверхбольших интегральных схем : Пер. с яп. / Я. Таруи ; пер. В. А. Лазарев ; ред. пер. В. Г. Ржанов. - М. : Радио и связь, 1985. - 478, [2] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 454-474. - 34.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002
~РУБ 621.3

Кл.слова (ненормированные):
СБИС -- интегральные схемы -- электронно-лучевая литография
Доп.точки доступа:
Лазарев, В. А. \пер.\
Ржанов, В. Г. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (2), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	136463
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)