Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 245-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 278.30 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

621.382
Т384

    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие / Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова. - М. : Высшая школа, 1990. - 126[2] с. : ил. - ISBN 5-06-001080-5 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.359(075.3)
621.382(075.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- полупроводниковые приборы -- микроэлектроника -- технология -- литография -- фотолитография -- рентгенолитография -- электронолитография -- ионолитография
Доп.точки доступа:
Мартынов, Валерий Владимирович
Базарова, Татьяна Евгеньевна

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	112976
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)