Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=высоковакуумное производство<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

621.5
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТАСУР, 1994. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52(076)
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- вакуумные насосы -- безмасляный вакуум -- электронно-лучевая обработка -- высоковакуумное производство -- вакуумная техника -- лабораторные работы
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

621.385
Д952

    Дюваль, Пьер.
    Высоковакуумное произвоство в микроэлектронной промышленности : Пер. с англ. / Пьер Дюваль; Пер. Н. В. Васильченко, Пер. И. Е. Лев, тин, Пер. Ю. И. Расстегин, Ред. С. А. Неустроев. - М. : Мир, 1992. - 264 с. : ил. - Библиогр.: с. 203-208. - ISBN 5-03-002002-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
631.382.049.77.002-982
621.385.002.2:621.382.049.77
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- высоковакуумное производство -- насосы
Доп.точки доступа:
Лев, И. Е. \пер.\
Никитин, М. С. \ред.\
Растегин, Ю. И. \пер.\
Неустроев, С. А. \ред. пер.\
Васильченко, Н. В. \пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), счз1
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	135197
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)