Web ИРБИС

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 23 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/3459

621.382
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Подготовка к проведению технологического процесса [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 12 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/3460

621.382
Г 487

    Гимпельсон, Владимир Давыдович.
    Технология гибридопленочных микросхем [Текст] : учебное пособие / В. Д. Гимпельсон, В. С. Локтаев ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР (М.), Московский авиационный институт, кафедра технологического производства радиоаппаратуры. - М. : [б. и.], 1971. - 104 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.776(07)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Локтаев, В. С.
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР (М.). Московский авиационный институт, кафедра технологического производства радиоаппаратуры

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)

539.2
У 760

    Усов, Сергей Петрович.
    Исследование свойств пористых многофункциональных пленок диоксида кремния [Текст] : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / С. П. Усов ; науч. рук. П. Е. Троян ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 2011. - 118 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 107-115

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:546.28-31(043.3)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ДИССЕРТАЦИИ
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)

А
У 760

    Усов, Сергей Петрович.
    Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / С. П. Усов ; науч. рук. П. Е. Троян ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 2011. - 19 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 18-19

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:546.28-31(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- АВТОРЕФЕРАТЫ
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Министерство образования и науки Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), сбо (1)

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1 : учебное пособие / Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2005. - 223 с. : ил. - Библиогр.: с. 220. - 66.90 р., 46.80 р., 111.50 р., 180.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- пленочная электроника -- тонкопленочные интегральные микросхемы -- полупроводниковые микросхемы -- легирование полупроводников -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Смирнова, Клара Ивановна
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (7)

539.2
С47

    Славников , В. С.
    Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе : дис. на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук / В. С. Славников ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт радиоэлектроники и электронной техники. - Томск : ТИРиЭТ, 1971. - 125 с. : ил. - Библиогр.: с. 115-125. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2(043.3)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- полупроводниковая электроника -- пленочная электроника -- диэлектрики -- реактивное распыление -- микроэлектроника -- диссертации -- МДМ структуры
Доп.точки доступа:
Преснов, В. А. \науч. рук.\
Трубицын, Александр Михайлович \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт радиоэлектроники и электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)

621.38
В 748


    Вопросы пленочной электроники : сборник статей / ред. Д. В Зернов . - М. : Советское радио, 1966. - 471[1] с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382:539.216.2
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- СБОРНИКИ
Доп.точки доступа:
Зернов , Дмитрий Владимирович \ред.\
Елинсон, Матвей Ильич \ред.\
Сандомирский, Владимир Борисович \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1
Свободны: аунл (3)

537
Г15

    Галанский, Владимир Лазаревич.
    Эмиссионные свойства структур металл-диэлектрик-металл на основе пленок оксинитрида кремния. Спец.01.04.04-Физич. электроника, в т. ч. квантовая : Диссертация на соиск. уч. ст. канд. физ. -мат. наук. На правах рукописи / Владимир Лазаревич Галанский; Науч.рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1979. - 202 с. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
537.533.2(043.3)
~РУБ 537

Кл.слова (ненормированные):
оксинитридные пленки -- МДМ-катоды -- пленочная электроника -- тонкие пленки -- эмиссионные центры -- диссертации -- оксинитрид кремния -- эмиттеры -- электронная эмиссия -- металл-диэлектрик-металл -- эмиссия -- МДМ-системы
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: СБО (1)

621.382
А 58

    Альтман, Л. В.
    Диоды и триоды пленочных микросхем : учебное пособие / Л. В. Альтман, Н. И. Волокобинская, Н. К. Иванов-Есипович ; Министерство связи СССР (Л.), Ленинградский электротехнический институт связи. - Л. : [б. и.], 1966. - 64 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382(07)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
РАДИОДЕТАЛИ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Волокобинская, Н. И.
Иванов-Есипович, Никита Константинович
Министерство связи СССР (Л.). Ленинградский электротехнический институт связи

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)

621.382
К 603

    Колесов, Леонард Николаевич.
    Введение в инженерную микроэлектронику : научное издание / Л. Н. Колесов. - М. : Советское радио, 1974. - 280 с. : ил. - Библиогр.: с. 274-275. - Предм. указ.: с. 276-278. - 01.31 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- инженерная микроэлектроника -- проектирование -- интегральные схемы -- пленочная электроника -- конструирование

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (6 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (6), счз1 (1)

621.385
С49

    Слуцкая, Валентина Викторовна.
    Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот / В.В. Слуцкая. - М., Л. : Госэнергоиздат, 1962. - 398 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385
539.216.2
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
ТЕХНИКА СВЧ -- ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

Имеются экземпляры в отделах: аунл (5 экз.)
Свободны: аунл (5)

request_decrypt("(<.>K=ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА<.>)","");