С 506 Смирнов, Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Электронный ресурс] : лабораторный практикум / С. В. Смирнов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2010. - on-line, 97 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/536 |