К 313 Кашкаров, Андрей Петрович. Микроэлектромеханические системы и элементы [Электронный ресурс] / А. П. Кашкаров ; ред. Д. А. Мовчан. - Электрон. текстовые дан. - М. : ДМК Пресс, 2018. - on-line : рис., табл., схемы, фот. цв. - Библиогр.: с. 112-113. - ISBN 978-5-97060-596-7 : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Перейти к внешнему ресурсу https://e.lanbook.com/reader/book/105831/#1 |