Ю 963 Юшков, Юрий Георгиевич. Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками [Текст] : дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника / Ю. Г. Юшков ; науч. конс. Е. М. Окс. - Томск, 2021. - 321 с. : граф., рис., фот. - Библиогр.: с. 273-310 Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.) Свободны: сбо (1) |