54
Г 805

    Гренадёров, Александр Сергеевич.
    Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения [Текст] : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника / А. С. Гренадёров ; науч. рук. А. А. Соловьев ; ФГБУН Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). - Томск, 2018. - 142 с. : граф., рис., схемы, табл. - Библиогр.: с. 125-141

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)

А
Г 805

    Гренадёров, Александр Сергеевич.
    Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника / А. С. Гренадёров ; науч. рук. А. А. Соловьев. - Томск, 2018. - 21 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 19-20

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), сбо (1)