621.38
В 573


    Владимиров, Георгий Георгиевич.
    Физическая электроника. Эмиссия и взаимодействие частиц с твердым телом [Текст] : учебное пособие / Г. Г. Владимиров. - СПб. ; М. ; Краснодар : Лань, 2013. - 368 с. : рис., табл. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Библиогр.: с. 357-364. - ISBN 978-5-8114-1515-1 : 949.96 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (1)

621.382
С 506


    Смирнов, Серафим Всеволодович.
    Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Электронный ресурс] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2010. - on-line, 115 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/535

621.382
С 506


    Смирнов, Серафим Всеволодович.
    Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Текст] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий", Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2010. - 115 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 113. - 220.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (2), счз1 (3)