Э 455 Электронно- и ионнолучевая технология : труды 1-й международной конференции по теории и технологии обработки электронными и ионными пучками / пер. Я. М. Васильев [и др.] ; ред. Н. А. Ольшанский. - М. : Металлургия, 1968. - 443[1] с. : ил. - Пер. с англ. - Библиогр. в конце ст. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |
Э 455 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : Пер. с англ. / Д. Р. Брюэр, Д. С. Гринич [и др.] ; ред. Дж.Р.Брюэра. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. - Библиогр.: с. 316-328. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Имеются экземпляры в отделах: аунл (21 экз.), счз1 Свободны: аунл (20) |