В 240 Введение в фотолитографию [Текст] : учебное издание / Ю. С. Боков [и др.] ; ред. В. П. Лаврищев. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с. 379-397. - (в пер.) : 01.47 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (25 экз.), счз1 Свободны: аунл (4) |