О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТАСУР, 1994. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Свободных экз. нет |
Д952 Дюваль, Пьер. Высоковакуумное произвоство в микроэлектронной промышленности : Пер. с англ. / Пьер Дюваль; Пер. Н. В. Васильченко, Пер. И. Е. Лев, тин, Пер. Ю. И. Расстегин, Ред. С. А. Неустроев. - М. : Мир, 1992. - 264 с. : ил. - Библиогр.: с. 203-208. - ISBN 5-03-002002-0 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), счз1 Свободны: аунл (1) |