М80 Моро, Уэйн Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 2. - М. : Мир, 1990. - 609-1240 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. -Предм. указ.: с. 1227-1235. - ISBN 5-03-001717-8 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.) Свободны: аунл (4) |