621.38
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов = Ионно-плазменная техника : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1991. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Свободных экз. нет

621.382
П 845

   
    Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5 : 300.00 р., 250.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (99 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (79), счз1 (2)

621.9
И 221

    Ивановский, Геннадий Фомич.
    Ионно-плазменная обработка материалов : производственно-практическое издание / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - М. : Радио и связь, 1986. - 230[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 226-231. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)