Web ИРБИС

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра электронных приборов. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2012. - on-line, 23 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.64(076)
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ -- лабораторные работы -- нанесение тонких пленок -- магнетронные распылительные системы -- вакуумная техника -- магнетроны

Доп.точки доступа:
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра электронных приборов

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1340

621.385
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1993. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.64(076)
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- лабораторные работы -- нанесение тонких пленок -- магнетронные распылительные системы -- вакуумная техника -- магнетроны
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет

621.387
Р957

    Рычков, Дмитрий Сергеевич.
    Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Дмитрий Сергеевич Рычков ; Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете". - Томск, 2004. - 148 с. : ил. - Библиогр.: с. 137-148. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.387.143(043.3)
~РУБ 621.387

Кл.слова (ненормированные):
диссертации -- магнетронный разряд -- плазменные магнетроны -- моделирование -- магнетронные распылительные системы -- электроника -- источники плазмы -- магнетронные диоды -- постоянный ток
Доп.точки доступа:
Кривобоков, Валерий Павлович \науч. рук.\
Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)

А
Р957

    Рычков, Дмитрий Сергеевич.
    Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Дмитрий Сергеевич Рычков ; Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете". - Томск, 2004. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.387.143(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- магнетронный разряд -- плазменные магнетроны -- моделирование -- магнетронные распылительные системы -- электроника -- источники плазмы -- магнетронные диоды -- постоянный ток
Доп.точки доступа:
Кривобоков, Валерий Павлович \науч. рук.\
Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.)
Свободны: счз1 (2)

request_decrypt("(<.>K=магнетронные распылительные системы<.>)","");