Б888 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии : Пер. с англ. / Ивор Броудай, Джулиус Мерей. - М. : Мир, 1985. - 494, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (6 экз.), счз1 (3 экз.) Свободны: аунл (6), счз1 (3) |