О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра электронных приборов. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2012. - on-line, 23 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1340 |
В 148 Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте [Текст] : научное издание / Ю. З. Бубнов [и др.]. - М. : Советское радио, 1975. - 160 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |
Д 182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 328 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |
О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1993. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Свободных экз. нет |
В 148 Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок : справочное издание / И. Г. Блинов [и др.] ; Министерство электронной промышленности СССР (М.). - М. : Электроника, 1969. - 108 с. : ил. - (Справочные материалы по электронной технике ; вып. 1(7)). - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |
К 642 Кондратов, Альберт Владимирович. Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники : производственно-практическое издание / А. В. Кондратов, А. А. Потапенко. - М. : Радио и связь, 1986. - 77[3] с. : ил. - (Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр.: с. 77-78. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 Свободны: аунл (4) |
С 794 Степаненко, Игорь Павлович. Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с. : ил. - (Технический университет). - Библиогр.: с. 419. -Предм. указ.: с. 488. - ISBN 5-93208-045-0 : 150.00 р., 102.85 р., 155.90 р., 144.16 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: , аунл (218 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (217), счз1 (1) |