М80 Моро, Уэйн Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 1. - М. : Мир, 1990. - 606[2] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.) Свободны: аунл (4) |