621.315
К 666


    Корзо, Виктор Федорович.
    Диэлектрические пленки в микроэлектронике : научное издание / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - М. : Энергия, 1977. - 366[2] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344-365. - (в пер.) : 01.35 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)