Р 546 Риссел, Х. Ионная имплантация [Текст] : монография / Х. Риссел, И. Руге ; пер.: В. В. Климов, В. Н. Пальянов ; ред. М. И. Гусева. - М. : Главная редакция физико-математической литературы, 1983. - 360 с. : рис., схемы, табл. - Пер. с нем. - Библиогр.: с. 345-360. - 04.50 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |