С 166 Салтымаков, Максим Сергеевич. Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Томский политехнический университет. - Томск, 2010. - 18 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 17-18 Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.) Свободны: счз1 (1) |