621.382
Т384


    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие / Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова. - М. : Высшая школа, 1990. - 126[2] с. : ил. - ISBN 5-06-001080-5 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)

621.382
Т 384


    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 7 : Элионная обработка : рекомендовано Мин.образования / О. С. Моряков. - М. : Высшая школа, 1990. - 125[3] с. : ил. - Библиогр.: с. 127. - ISBN 5-06-001079-1 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (9 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)