С 506 Смирнов, Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Электронный ресурс] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2010. - on-line, 115 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/535 |
С 506 Смирнов, Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Текст] : лабораторный практикум / С. В. Смирнов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий", Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2010. - 97 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр. в конце работ. - 220.00 р., 21.66 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (9 экз.), счз1 Свободны: аунл (9) |
С 506 Смирнов, Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Текст] : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий", Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2010. - 115 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 113. - 220.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.), счз1 (3 экз.) Свободны: аунл (2), счз1 (3) |