Д 42 Джоветт, Чарльз Е.. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники / Ч. Е. Джоветт ; пер. М. И. Кондаков ; ред. пер. Е. Б. Соколов. - М. : Металлургия, 1980. - 112 с. - Пер. с англ. - Библиогр.: с. 106-111. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |