Д 182 Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 56.62 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (23 экз.), счз1 (2 экз.) Свободны: аунл (22), счз1 (2) |