В-155 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии : научное издание / Камиль Ахметович Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |