Ч-498 Черняев, Александр Владимирович. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия : научное издание / А. В. Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 83-86. - ISBN 5-256-00740-8 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |