А 588 Альтудов, Юрий Камбулатович. Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание / Ю. К. Альтудов, А. Г. Гарицын ; вступ. ст. К. А. Валиев. - М. : Радио и связь, 2001. - 632 с. : ил, табл. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3 (в пер.) : 323.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 Свободны: аунл (2) |