И 206 Иванов, Вадим Иванович. Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике. [Текст] : научное издание / В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Э. Б. Сигалов ; Министерство электронной промышленности СССР. - М. : [б. и.], 1978. - 35 с. - (Технология, организация производства и оборудование. Вып. 14(503)). - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |